Az indukciós csatlakoztatott plazma tömegspektroskopia (ICP-MS) egy új szervetlen elem- és izotóp-elemzési technológia, amely egyidejűleg gyorsan észleli majdnem minden elemet a periodikus táblázatban. Az ICP-MS technológia meghaladja a hagyományos szervetlen elemzési technológiák, mint például az indukciós csatlakoztatott plazma spektroskopiai technológia (ICPAES), a graff kemence atomfelszívódása (GFAAS) és a higanyhűtött atomfelszívódási technológia (CVAAS) összességét, és a kortárs elemzési technológia legizgalmasabb fejlődésének nevezik.

Az Agilent ICP-MS technológiájának alkalmazási területei a következők:
• környezeti minta elemzése, beleértve a csapnövíz, a felszíni víz, a földalatti víz, a tengervíz, valamint a talaj és a hulladék különböző elemzéseit;
Félvezető anyag elemzése
• mintaelemzés, például üveg, kerámia és bányászat;
• geológiai kutatások;
• Biológiai élelmiszer- és gyógyszerklinikai kutatások;
• Nukleáris anyagok elemzése
• olajkemiai mintaelemzés;
• törvénygyógyászati alkalmazások és kutatások;
A közelmúltban a környezeti toxicitás, az élettudományok és egyéb területek elemértéke és morfológiai elemzése az ICP-MS technológia alkalmazásának fókuszává vált.
Az ICP-MS elemzési jellemzői:
Gyorsan és egyszerre észlelhető a periódusos táblázat szinte minden eleme
Minimális érzékelési határ (ppq szintig alacsony)
A legjobb hasznos/költséges arány elemzése
Legszélesebb lineáris dinamikai tartomány – ppq-tól több száz ppm-ig közvetlenül érzékelhető
A legegyszerűbb spektrumvonal, a legkevesebb zavar, a pontosság és a pontosság
● Alacsony mintatartalom (ul-ml), gyors elemzési sebesség (1-3 perc / minta)
Rugalmas és sokszínű érzékelési mód
A félvezetőiparban általánosan használt anyagokban lévő szennyezőanyagok elemzése:
szilárd: Si; GaAa monokristályos szelet; kvarc, szilícium-karbid és egyéb kemence anyagok; Magas tisztaságú fém elektródák stb.
folyadék: tiszta víz; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Ammoniak stb.
gáz: SiH4; TE0S; NF3; N2 stb.
Az Agilent ICP-MS közvetlenül elemzi a szerves mintákat:
Az Agilent ICP-MS nagy teljesítményű, nagy teljesítményű védő rektihűtő plazma technológiáját már használták a ppt szintű nyom szennyező elemek mérésére szerves minták sorozatában.
Néhány minta esetében más módszerek nem tudnak kielégítő eredményeket kapni, és a nagy teljesítményű védő rektihűtő plazma technológia az egyetlen elemzési módszer.
Erős alkalikus tisztítószer - tetra-metil-ammóniak-hidroxid (TMAH) stb.
● Általánosan használt szerves oldószerek - tolfen, ditafen, IPA stb.
● Nagy méretű minták - fotográfia, folyékony kristályok, BPSG, PSG és egyéb rendkívül szilárd tisztítószerek - aceton, metanol stb.