Mérési követelmények
Szkennelje a panel szonda felületének háromdimenziós alakját, és kivonja a profilt a szonda tetejének kopásának mérésére

Fő jellemzők áttekintése
1. érintésmentes mérés, integrált tervezés

3. 3D profilszkennelés, többfunkciós adatfeldolgozás
3. A különböző anyagok pontos mérésére alkalmas

4. Egyszerű használat, könnyű felszerelés

Gyors szkennelési sebesség, magas helymeghatározási pontosság

6. ± 0,5-től ± 1 μm-ig biztosított ismétlődő pontosság

7. Nagy stabilitás, erős interferencia elleni képesség

Mérési eredmények
A szonda magassága körülbelül 100 μm kopás előtt, és körülbelül 80 μm kopás után

Megoldás a jelenlegi mérőberendezések problémáinak

1. A mérési anyagokra vonatkozó bizonyos követelmények
2. érintkezési mérés, a mérési anyag károsodása
Kicsi mérési tartomány, helyzet bizonytalan, nehéz meghatározni
Lass mérési sebesség, alacsony pontosság, nagy mérési hiba

5. összetett szerkezet, magas költségek