Alacsony hőmérsékletű katalízis - magas hőmérsékletű nitrogéneltávolító tisztító rendszer

Ez a tisztító rendszer házi szabadalmi katalizátort használ, ez a katalizátor hosszú élettartama, magas tisztítási mélysége és az antinyersanyag gáz azonnali ingadozási képessége; Fizikai adszorpciós és kémiai reakciós folyamat alkalmazásával először szobahőmérsékleten távolítják el az inert gázokat és a hidrogént (H2) nagy mennyiségű szennyeződést H2O, O2, CO, CO2, majd a maradék szennyeződéseket és az N2 távolítását a magas hőmérsékletű gázszívótoronyon keresztül, hogy a kiviteli tiszta gáz szennyeződése 1 ppb alatt legyen. Ez a készülék hosszú élettartamú, egyszerű kezelésű és egyéb jellemzőkkel rendelkezik.

Termék teljesítmény

Alkalmas a nem kevesebb, mint 99,999%-os tisztaságú nyersgáz használatához.

◎ Ez a termék kettős szerkezet, egy munkacsoport, a másik csoport regenerált tartalék

◎ magas tisztítási mélység, az export különböző szennyeződések tartalma <1ppb

Elektrokémiai csiszolás 316 (L) rozsdamentes acél

Beépített 0,003 mikron hatékony szűrő

◎ Ez a tisztító rendelkezik előtisztító torony, hogy eltávolítsa a nagy mennyiségű szennyeződéseket, mielőtt értékes fogyasztási légszívó torony, így meghosszabbítja az élettartam értékes fogyasztási légszívó

Termékek alkalmazása

◎ Magas tisztaságú monokristályos szilícium, chip kiterjesztés, tömeges integrált áramkörök, fotoelektromos termékek gyártása és egyéb elektronikai ipari gázterminálok tisztítása

Félvezető folyamati berendezések: CVD, MOCVD, HVPE, diffúziós kemence stb.

* Nagy gáztisztítás

Rendszerparaméterek