A CYG502 ultra-mikro nyomásérzékelőt, melynek névleges külső átmérete 2 mm, kifejezetten olyan célokra tervezték, amelyek kisebb telepítési méreteket igényelnek folyadékmechanikai kísérletekben. Jelenleg a vállalatunk legkisebb nyomásérzékelője.

A CYG502 nyomásérzékeny alkatrészeit fejlett MEMS (Miro Electronic Mechanical Systems) technológiával tervezték és gyártották. A háromdimenziós integrált, kétoldalú megmunkálású szilícium nyomásellenállás nyomásérzékeny elemek kiváló lineáris pontossággal rendelkeznek. Az ionbefecskendező, finom fotográfia technológiájával készült Whiston feszültségi híd nagy következetessége miatt nagyon kis hőmérsékleti eltérés van. A szilícium-szilícium közvetlen kötési technológia, a fordított V-típusú nyereg tervezése, így a chip vékony film méretének optimalizálása, a teljes chip méretének 1 x 1 mm-re történő csökkentése, míg a kimeneti érzékenység még mindig elérheti a 100 kpa méretű tartományt, ami kulcsfontosságú áttörést jelent az ultra-mikro érzékelők megvalósításához.

A szilícium-üvegkötés átalakítása a hagyományos tervezésben szilícium-szilícium kötésre javítja a hőpárosítási hatást és csökkenti a feszültség által okozott nulla-ponti instabilitást.

Jelenleg a piacon rendelkezésre álló fajták abszolút nyomású mérési mód termékek, felső nyomású típus fejlesztés alatt áll.

A CYG502A abszolút nyomású ultra-mikro nyomásérzékelő szonda alakú, szabványos külső átmérője Ф2,15 mm, hossza 18 mm, az érzékelő opcionális tartománya 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa abszolút nyomás.

A CYG502A abszolút nyomásérzékelő érzékeny elemekkel jár. Ezért csak olyan száraz gázokra alkalmazható, amelyek nem korróziós és nem vezető. Meglehetősen széles működési hőmérsékleti zónával rendelkezik, akár -55 ℃ ~ + 120 ℃, és nagyon kiváló magas frekvenciás dinamikai tulajdonságokkal is rendelkezik, a legalacsonyabb mértékű érzékeny elemek belső frekvenciája > 200 kHz, a növekedési idő submikrosekund.

1. Teljesítménymutató paraméterek

2, teljes méretű kimenet: min. 30mv tipikus érték 80mv max. érték 130mv

Bemeneti és kimeneti impedancia: minimális érték 3 kΩ tipikus érték 5 kΩ maximális érték 7 kΩ

Bemeneti munkaáram: 1,5 mA (mérnyomású típus) 1 mA (abszolút nyomású típus) (állandó áramforrás)

Működési hőmérséklet: -55 ℃ ~ 120 ℃

Kompenzációs hőmérséklet tartomány: -10 ℃ ~ 80 ℃

Túlterhelési kapacitás: a névleges hatótávolság 200%-a

Gyorsulási érzékenység: <0,001% FS/g

Méret: CYG502A