Trionikus csapat technológia

A három ioncsapat alkatrészek függőlegesek a minta oldali felületéhez, ezért a minta (rögzített a minta tartályán) nem igényel dangó mozgást a vetítés / blokkoló hatás csökkentése érdekében, ami megint biztosítja a hatékony hővezetést, és csökkenti a minta hődeformációját a feldolgozás során.
Technológiai
A három ionikus csapat összegyűjtődik a védő szélének középpontjában, és egy 100°-os bombardáló szellőzőt alkot, amely a védő feletti minta felé vág (a minta felső vége körülbelül 20-100 μm magasabb a védővel), amíg a bombardálás a minta belső célterületét nem éri el. Az újonnan kialakított ionpisztoly 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, 50 μm vágási magasság) ioncsillag-csillagási sebességet eredményez. A Leica egyedülálló három-ionos csillagrendszere kiváló minőségű vágási szakaszokat biztosít, valamint nagy sebességet, széles és mély vágási felületet, ami jelentősen megtakarítja a munkaidőt. Ennek az egyedülálló technológiának köszönhetően kiváló minőségű vágási szakaszok > 4 x 1 mm területméretű

Leica EM TIC 3X - innovatív tervezés és üzemeltetés

Nagy áramlás, növekvő költség-nyereség
›› Kiváló minőségű vágási részletek > 4 x 1 mm
››Többmintás asztal, amely egyszerre három mintát tartalmaz
›› Magas ioncsiszolási sebesség, Si anyag 300 μm / h, 50 μm vágási magasság, amely megfelel a laboratóriumi nagy áramlási követelményeknek
>> A legnagyobb mintameret 50 x 50 x 10 mm
››Sokféle használható mintatartó, könnyen használható és pontos
›› A minták hordozóra történő telepítése és a korlátozólaphoz képest történő beállítás egyszerű és pontos kalibrálása
››Egyszerű érintőképernyővel való kezelés, különleges műveleti készségek nélkül
››A mintakezelési folyamat valós idejű megfigyelhető, TV tükör vagy HD-TV kamera segítségével
›› LED-es világítás a minták megfigyeléséhez és a helyszín kalibrálásához
›› Beépített, kapcsolódás nélküli vákuumszivattyú rendszer rezgésmentes látóterületet biztosít
›› A felkészített lapos vágási szakaszon további béléserősítő hatás, azaz ionsugár gravírozás végezhető.
› Paraméterek és programok feltöltése vagy letöltése USB-n keresztül
>> Szinte bármilyen anyag mintájára alkalmas
››Fagyasztott mintasztal segítségével – 150°C-ig csökkenthető a lap és a minta hőmérséklete

Sokféle minta hordozó

Szinte minden méretű mintára alkalmas, és széles körű felhasználásra alkalmas. Egyetlen mintakosztó használatával elvégezhető az előmechanikai előkészítés (Leica EM TXP), az ionsugárvágás (Leica EM TIC 3X) és a SEM tükörvizsgálat, majd a minta tárolódobozába kerül a követő vizsgálat céljából.

Fokozott bélés

Miután az ioncsomag vágása, nem kell eltávolítani a mintát, ugyanazt a mintatartót is használhatja a minta bélésének erősítése, amely megerősítheti a minta különböző fázisai előtti topológiai szerkezetét (például a kristály határát)

Nagy pontosság

Most a minta egyre kisebb részletes szerkezete fokozatosan felkelti az emberek figyelmét. És a vágás megszerzése a szakaszok, mint például a megszerzése a nagyon kicsi TSVia lyukat szerkezet, már könnyű. Minden mintasztalot úgy terveztek, hogy a minta helyzetének kalibrálási pontossága ±2 μm legyen. Nemcsak a mintasztal vezérlési pontossága lehetővé teszi az ilyen pontos cél-meghatározási kalibrálást, hanem a megfigyelő rendszer a minta részleteit is megfigyelheti, amelyek legalább körülbelül 3 μm-es méretűek a pontos cél-meghatározás érdekében. Annak érdekében, hogy a minta jobb megfigyelhető legyen a helymeghatározás során, a 4 osztott LED-es gyűrű fényforrás vagy a LED-es koaxialis világítás nagy segítséget nyújt a felhasználónak, hogy tiszta képeket kapjon a televíziós tükörből vagy HD-TV kamerából.
Mivel a vákuumszivattyú a műszerbe van beépítve, nincs szükség külön helyre. A vákuumszivattyú leválasztási tervezésének köszönhetően a minta előkészítése során a látóterületet nem zavarják a vákuumszivattyú által okozott rezgések.