PfeifferMolekuláris szivattyúk alkalmazása a LOW-E (alacsony sugárzású üveg) gyártósorokban
A Low-E teljes név az alacsony sugárzású bevonatú üveg. A hő visszaverő üveghez képest egy új típusú energiatakarékos üveg. Jelenleg a vákuum magnetron sputtering bevonattechnika (offline módszer) általánosan alkalmazott a Low-E üveg gyártásához. A német Pfeiffer értékesítéseMolekuláris szivattyúSikeres alkalmazás erre.

elvekAz üveget függőlegesen helyezzük a polcokon, és 10-1 Pa mennyiségi vákuum környezetbe vezetjük be a megfelelő mennyiségű folyamati gázba (inert gáz Ar vagy reakciós gáz O2, N2), és a vákuum stabilságát tartsuk fenn. A cél Ag, Si stb beágyazva a katódot, és a mágneses mezőbe a katódhoz függőleges vízszintes irányban, így a magnetron célpont. Magnetron célpontként a katóda, valamint az egyenáramú vagy cserélőáramú áramellátás, a nagy feszültség hatása alatt a folyamati gázok ionizálódnak, és plazmát alkotnak. Az elektronok nagy sebességű spirálmozgást végeznek az elektromos és mágneses mezők együttműködésével, ütköznek a gázmolekulákkal, és több pozitónt és elektront termelnek; A pozitív ionok az elektromos mező hatása alatt egy bizonyos energia elérése után ütköznek a katód célpontjával, és a sputtert célpont a vékony fóliát képezi az üveg alaplapon. Az egyenletes membránréteg kialakítása érdekében a katódcél az üvegfelület közelében mozog. Annak érdekében, hogy a többrétegű membrán, több katódot kell használni, minden katódot mozog előre és vissza az üveg felületén, hogy egy bizonyos membrán vastagság.

PFEIFFER Németország A PFEIFFER több mint 120 éves vákuumgyártási tapasztalatával és az értékesítés utáni szolgáltatással és technikai támogatással világszerte megnyerte a LOW-E piac ügyfeleinek kedvét, a német FEN. A VON ARDENNE a legtipikusabb ügyfél. PFEIFFERMolekuláris szivattyúA LOE-E gyártósor a kínai üveggyártó óriások Sinyi üveg, South Glass és egyéb.
PfeifferMolekuláris szivattyúElőnyök:

• Többsebességű szivattyúzás az ügyfél számára 1000 és 2000 l/s között
• Az H₂, Ha és Ar, CF₄Nagy sebességgel.
• Telepítési helyzet 0-90 fok, 90-180 fok között
• Nagy gázáramlás, még Ar, CF esetén is₄
• Integrált TC 1200 hajtóegység közvetlenül csatlakoztatható az áramellátáshoz
• Korróziós ellenállás
• Gazdag interfész: RS-485 és távvezérlés; profibus vagy Devicenet választható
• IP 54 és Semi S2 minősítéssel rendelkezik
• Stabilis és biztonságos rotorcsapányrendszer
• Megfelel az UL, CSA és TUV tanúsításnak
• Egyszerű telepítés