A szilán fontos új anyag termék, széles körben alkalmazott LCD lapos képernyő, félvezető, napenergia és egyéb iparágak, a kínai félvezető és egyéb iparágak fejlődésével a belföldi kereslet a szilán növekszik, de mivel a belföldi szilán termelési technológia a kezdő szakaszban van, hogyan kell elemezni a szilán tisztaságát az egyes gyártóknak szembe kell nézniük egy téma
Jól ismert, hogy a magas tisztaságú gáz elemzése bonyolult folyamat és a kromatográfiai elemzés egyik nehézsége; A szilán fizikai tulajdonságai miatt az elemzés nehézsége nehezebbé válhat, nemcsak magas érzékenységű detektorra van szükség, hanem a szilán oxigénégési problémájának megoldására is.GC-9560-HG hélium-ionizált gázkromatométerA szilán-elemzés során számos technikai nehézséget leküzdtek, magas érzékenységű hélium-ionizációs detektorokkal és speciális szilán mintavételi rendszerekkel, amelyek jól befejezték a szilánban lévő nyomok ppb-szintű szennyeződések elemzését.

Alkalmazott szabványok:

• GB/T 15909-2009 Elektronikus ipari gázok

GC-9560-HG szilán elemző hélium-ionizált gázkromatóméterA magas tisztaságú gázok és az elektronikai ipari gázok nyom szennyeződéseinek vizsgálatára alkalmas, a zui kis vizsgálati koncentráció akár 5 ppb is lehet. Az eszközök nagy érzékenységű hélium-ionizálási detektorokkal vannak felszerelve, a Huawei* központi vágási technológiájával, és a mintabevédő szelepekkel vannak felszerelve. Az egész gép több oszlopos doboztervezéssel rendelkezik, a különböző kromatográfiai oszlopok külön szabályozhatják a hőmérsékletet, a zui maximálisan optimalizálja a elválasztási feltételeket, és megkönnyíti a különböző kromatográfiai oszlopok külön-külön öregedési kezelését, és megkönnyíti az eszköz karbantartását; A műszer a mintabevételi nyomás automatikus korrekciós rendszerrel van felszerelve, hogy leküzdje az elemzési hibákat, amelyeket a különböző alapgázok a különböző molekuláris tömegektől függően okoznak.

Egy,GC-9560-HG szilán elemző hélium-ionizált gázkromatóméterTeljesítmény előnyei:
A gázipar a nemzetgazdaság alapipara, az ipari termelés "vére", a nemzetgazdaság gyors fejlődésével a magas tisztaságú gázok és az elektronikai ipar gázai iránti kereslet is gyorsan nő. A nyom szennyeződések kimutatása a nagy tisztaságú gázok és az elektronikai ipari gázok gyártásának kulcsfontosságú része, míg a nyom szennyeződések elemzése mindig is nehéz volt a kromatográfiai elemzés, és a hagyományos hővezető és egyéb kromatográfiai detektorok nem képesek a magas tisztaságú gázelemzésre.
A PDHID (Impulse Discharge Helium Ionization Detector) egy rendkívül érzékeny, általános típusú detektor, amely szinte minden szervetlen és szerves vegyületre reagál, különösen alkalmas a magas tisztaságú gázok elemzéséhez, és olyan detektor, amely ng / g (ppb) szintig képes észlelni. Az újonnan kidolgozott nemzeti szabvány előírja, hogy az eredeti hővezető detektorok helyettesítésére hélium-ionizált detektorok alkalmazásával, a Huawei kromatográfia vállalja a fő tervezési feladatot a nemzeti szabvány "Gázelemzés hélium-ionizált gázkromatográfia" is kidolgozásban van, és hamarosan hivatalosan közzéteszi a végrehajtást.

PDHID szilikánokban lévő gázszennyeződések vizsgálati határértéke (ppb)

kettő,GC-9560-HGA rendszer konfigurációja:

(1) GC-9560-HG hélium-ionizált gázkromatométer (2) hélium-ionizált detektor (PDHID)

(3) Központi vágási rendszer (4) Elektronikus gáz mintavételi rendszer

(5) Oxigén adszorpciós és redukciós rendszerek (6) Helium tisztítók

(7) gázszállító nyomáscsökkentő szelep (8) halott térfogat nélküli speciális mintavételi szelep
(9)Gázszállító szűrők (10)Mintaszűrők

(11) Kromatográfiai oszlopok (12) Szabványos gázok
(13) Nagy tisztaságú hélium (tisztaság > 99,999%) (14) GC-9560V4.0 verzió ellenőrzött kromatográfiai munka

• Központi vágási technológia a teljes gázelemzéshez:
  A GC-9560-HG hélium-ionizált gázkromatóméter több szelep és több oszlop központi vágási és visszafújó technológiáját használja, amely több tíz csatlakozó szelepből és több gyökér kromatográfiából áll, és automatikusan vezérli a mintabevételi, váltási, vágási és visszafújó folyamatokat a munkaállomás beállított időtartamával.

• Tíz csatlakozó szelep
  GC-9560-HGAz eredeti importált VICI gyártott, védő légutakkal felszerelt tíz útú fújó szelep, a szelep síkja mindig a légkörben van, hogy elkerülje a mintabevétel és a váltás közben a levegő behatolását a mintába, ami jelentősen javítja a vizsgálati érzékenységet és pontosságot.
• Speciális feldolgozott kromatográfiai oszloptechnika
  (1) A kromatográfiai oszlop cső 316L rozsdamentes acél anyagot használ, és a cső belső falai passzív kezeléssel vannak, hogy megakadályozzák az adszorpciót és a szén-monoxid késleltetését.
  (2) a kromatográfiai oszlopok hordozóit különleges kezeléssel kezelik, hogy elkerüljék az oxigénadszorpció és egyéb problémák kialakulását
  (3) az elővágott oszlopok a Huai kromatográfiát használják az ország mikro töltőoszlop technológiájának megszerzésére, hogy teljes mértékben javítsák a minta elválasztását, figyelembe véve a elválasztást, a stabilitást és a gyorsat

• Többoszlopú szétválasztási rendszer
  A gázminták sokféle formában vannak, és a szennyeződések széles választéka több különböző kromatográfiai oszlopot igényel a gázminta összes szennyeződésének elválasztásához. Mivel a különböző kromatográfiai oszlopok optimális működési hőmérséklete eltérő, nehéz megtalálni a különböző kromatográfiai oszlopok működésére alkalmas optimális működési hőmérsékletet ugyanabban az oszlopban. A GC-9560-HG több oszlopos doboz tervezésével hatékonyan megoldja a különböző kromatográfiai oszlopok különböző működési hőmérsékletet igénylő problémáit.
  Az eszköz napi karbantartása során, mivel a különböző hordozók, például az 5A molekuláris szitó kromatografikai oszlopainak aktivációs hőmérséklete eltérő, ha az öregedés ugyanabban az oszlopban történik, akkor a magas hőmérsékletet nem toleráló kromatografikai oszlopot el kell távolítani, majd külön aktiválni. A GC-9560-HG többoszlopú doboz tervezése hatékonyan megoldja a fenti problémákat, és a különböző kromatográfiai oszlopok külön-külön aktiválhatók a különböző oszlopokban, elkerülve a kromatográfiai oszlopok szétszerelését a napi műszerkarbantartási munkák során.
• HP-2 héliumtisztító:
  GC-9560-HGA hélium tisztasága közvetlenül befolyásolja az egész műszer szennyeződés érzékenységét. A vizsgálatok kimutatták, hogy a magas tisztaságú gázelemzéshez használt hordozó gáz tisztasága legalább egy mennyiségi szinttel magasabb, mint a gázminta alaptisztasága.
  A HP-2 típusú hélium tisztító egy speciális gáztisztítószer, amelyet a VICI gyártott, tisztító alapanyaga egy repülőmentes adszorzív ötvözet, az adszorzív részecskék felületén van egy réteg oxidmembrana, amelyet fűtéssel kell aktiválni, az aktiválási folyamatot vákuum vagy inert gáz környezetében kell elvégezni, így lehetővé teszi a hélium szabadon terjedését, megakadályozza az oxigéntisztító réteg kialakulását és a szennyeződéses gázok adszorzívását. A HP adszorbens anyagai jó hőstabilitással rendelkeznek, amely két hőmérséklet-szabályozási tartományt tartalmaz.
  Tisztítható gázok: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Üzemi nyomás: 1000psi
  Gázok eltávolítása: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Várj!
  Koncentráció: ≤10ppb
• Bemutató nyomáskorrekciós rendszer
  A hagyományos kromatográf a mintabevételi szelep kilépésén az áramlás ellenőrzésének módszerét alkalmazza a kvantitatív csövekben lévő mintabevételi térfogat ellenőrzésére, a kísérletek bebizonyították, hogy ez a módszer nagy elemzési hibákkal jár.
  Vegyük például a magas tisztaságú hidrogén elemzését: a standard gáz hat szennyeződést tartalmaz a héliumban, míg a mintagáz hat szennyeződést tartalmaz a hidrogénben; Mivel a hélium és a hidrogén molekuláris tömege eltérő, a mintavételi mennyiség ugyanazon áramlás alatt nem *
  GC-9560-HGFelszerelt nyomáskorrekciós rendszer, hogy legyőzze meg a problémát, hogy a mintavételi mennyiség nem * a különböző alapgázok miatt, biztosítva az adatok pontosságát.
• Halott térfogat nélküli mintavételi szelep
  A GC-9560-HG meghalt térfogat nélküli speciális mintavételi szeleppel van felszerelve, és a fújó védő mintavételi módszerrel hatékonyan elkerüli a levegő maradványainak problémáját, és csökkenti a mintavételi folyamat hatását az elemzésre.
• Gázszállító nyomáscsökkentő szelep
  A normális nyomáscsökkentő szelep a nagy mennyiségű halott térfogat jelenléte miatt közvetlenül befolyásolja a nyomáscsökkentő szelep kimenete után a szállító gáz tisztaságát, ami a szállító gázban a szennyeződés koncentrációja magas, ami befolyásolja az egész rendszer vizsgálati határait.
  A GC-9560-HG hélium-ionizált gázkromatóméter teljes mértékben rozsdamentes acél gázszállító nyomáscsökkentő szeleppel van felszerelve kétféles nyomásszabályozó funkcióval, ami jelentősen javítja a nyomásstabilitást, biztosítja a kiindulási vonal stabilitását, miközben csökkenti a szelepben lévő halott térfogatot és tovább javítja a vizsgálati érzékenységet.

GC-9560-HGAz elemzési hatások diagrama: