VIP tag
Ultra nagy felbontású térsugárzó szkennelő elektronmikroszkóp SU8600 sorozat
A gyors adatgyűjtési és adatfeldolgozási technológiák fejlődésével az elektronmikroszkóp olyan korba lépett, amely nemcsak az adatok minőségét, hanem
A termék adatai
Ultra nagy felbontású térsugárzó szkennelő elektronmikroszkóp SU8600 sorozat
A gyors adatgyűjtési és adatfeldolgozási technológiák fejlődésével az elektronmikroszkóp olyan korba lépett, amely nemcsak az adatok minőségét, hanem a gyűjtési folyamatokat is értékeli. Az SU8600 sorozat a Regulus 8200 sorozat kiváló minőségű képalkotását, nagy áram-elemzést és hosszú ideig stabil működést biztosító hidegmező képalkotási technológiáját támogatja, miközben jelentősen növeli a nagy áramlási és automatizált adatgyűjtési képességeket.
- *
- A készülék fényképei opciókat tartalmaznak.
-
Jellemzők
-
specifikációk
Jellemzők
Jellemzők
Ultra magas felbontású képalkotás
A Hitachi nagy fényességű elektronikai forrásai rendkívül magas felbontású képeket biztosítanak még rendkívül alacsony leszállási feszültséggel is.
RHO típusú zeolit példája 0,8 kV feszültségben. A bal oldali kép a részecskék teljes alakját mutatja, a jobb oldali kép a nagyítási képet mutatja, a részecskék felületének finom lépcsős szerkezete világosan látható. Az alacsony feszültségű megfigyelés hatékonyabb az elektronszarkárosodások csökkentésében és a felületi alak-információk megszerzésében.
Minta: Japán Ipari Technológiai Intézet
Nagy bélésű, alacsony gyorsulású feszültségű hátsó scattered kép
3D NAND megfigyelés;
Alacsony gyorsulási feszültségi körülmények között a visszaterjedő elektronikus jelek egyértelműen megmutatják a szilícium-oxid és a szilícium-nitrid rétegek bélési különbségeit.
3D NAND-megfigyelés (felgyorsított feszültség: 1,5 kV)
Gyors BSE kép: új villogó test hátsó szétszóró elektron detektor (OCD)*
Az új OCD érzékelő használatának köszönhetően a Fin-FET tiszta mélyszerkezeti képei még akkor is megfigyelhetők, ha a szkennelés idő kevesebb, mint 1 másodperc.
Belső szerkezeti megfigyelés 5 nm folyamat SRAM (felgyorsított feszültség: 30 kV, szkennelési idő < 1 másodperc)
Fejlett automatizálási funkciók*
Az EM Flow Creator lehetővé teszi az ügyfelek számára, hogy automatizált munkafolyamatokat hozzanak létre folyamatos képgyűjtéshez. Az EM Flow Creator a különböző SEM funkciókat grafikus modulként definiálja, mint például a nagyítási arány beállítása, a minta mozgása, a fókusztávolság és a fény-sötét kontraszt beállítása. A felhasználó egyszerű egérhúzással összeállíthatja ezeket a modulokat egy munkaprogramba logikus sorrendben. Hibázás és megerősítés után a program minden híváskor automatikusan kiváló minőségű, reprodukálható képadatokat kaphat.
Rugalmas felhasználói felület
Natív támogatás kettős kijelzővel, amely rugalmas és hatékony működési területet biztosít. 6 csatornás megjelenítés és mentés egyidejűleg, amely gyors több jel megfigyelését és gyűjtését teszi lehetővé.
Az 1, 2, 4 vagy 6 csatornás jel egyidejűleg megjeleníthető ugyanazon a kijelzőn, a kapcsolható tartalom magában foglalja a SEM érzékelőket, valamint a mintakamera és a navigációs kamerákat. A munkatér két kijelzővel bővíthető, és a felhasználói felület testreszabható a hatékonyság növelése érdekében.
specifikációk
| Gépmodell | SU8600 sorozat | |
|---|---|---|
| Elektronikus optikai rendszerek | Másodszoros elektronikus felbontás | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Nagyosítás | 20 to 2,000,000 x | |
| Elektronikus fegyverek | Hidegmező kibocsátó elektronikus forrás, amely rugalmas villogást támogat, anódos sütési rendszert tartalmaz. | |
| Gyorsított feszültség | 0.5 to 30 kV | |
| Leszállási feszültség | 0.01 to 20 kV | |
| Detektorok | (részben opcionális) | Felső detektor (UD) |
| UD ExB energiaszűrő SE/BSE jelvegyes funkcióval | ||
| Alsó detektor (LD) | ||
| Felső detektor (TD) | ||
| TD energiaszűrő | ||
| A tükörben lévő hátsó szétszóró elektronikus érzékelő (IMD) | ||
| Félvezető hátsó szétszóró elektronikus érzékelő (PD-BSED) | ||
| Új villogó testű hátsó szétszóró elektronikus érzékelő (OCD) | ||
| Katódfluorescenciadetektorok (CLD) | ||
| Szkennelési átviteli detektor (STEM Detector) | ||
| Kiegészítők | (részben opcionális) | Navigációs fényképezőgép, mintakámás fényképezőgép, röntgensugár-energiaspektrométer (EDS), hátsó diffrakciós elektron-diffrakciós érzékelő (EBSD) |
| Szoftver | (részben opcionális) | EM Flow Creator, HD Capture (legfeljebb 40 960 x 30 720 képpont) |
| mintasztal | Motorhajtótengely | 5 tengelyes motorhajtás (X/Y/R/Z/T) |
| Motorhajtótengely | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Minta szoba | Mintaméret | Maximális átmérő: 150 mm |
- *
- Lassítási módban
Kapcsolódó termékkategóriák
- Fókuszos ionsugárrendszer (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM minta előfeldolgozási berendezés
Online érdeklődés
-
Kapcsolatok
-
Társaság
-
Telefon
-
E-mail
-
WeChat
-
Ellenőrzési kód
-
Üzenet tartalma
-